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超精密陶瓷载台、机械手臂
采用高纯度陶瓷材料，经超精密加工而成，具有优异的平面度和尺寸稳定性，适用于半导体、光学精密定位等高端应用场景。
规格参数表
| 尺寸（mm） | 平面度 | 材料 | 交期 |
|---|---|---|---|
| φ100、φ150、φ200、φ300 | ≤0.003mm | 氧化铝陶瓷（Al₂O₃） | 15-20 个工作日 |
| φ100、φ150、φ200、φ300 | ≤0.001mm | 氮化铝陶瓷（AlN） | 20-25 个工作日 |
| φ100、φ150、φ200、φ300 | ≤0.002mm | 碳化硅陶瓷（SiC） | 25-30 个工作日 |
| 机械手臂 <500 | ≤0.005mm | 碳化硅、氧化铝 | 10-20 个工作日 |
应用领域
半导体封装电子封装5G 通讯封装材料功率电子IGBT模块新能源汽车LED基板航空航天
产品特点
多种陶瓷材料
氧化铝、碳化硅、石英等多种材料可选
厚度范围灵活
厚度5~50mm，可根据需求灵活选择
可按图定制外形
标准尺寸与定制尺寸均可，满足各类应用需求
高精度加工
超精密抛光工艺，厚度精度达微米级